高周波部門

製品紹介

高周波応用装置 プラズマ/産業用電源

当社では半導体製造、液晶製造装置などで使用されるプラズマ励起用高周波電源および高周波を応用した産業用電源、装置を製作・販売し、ご好評をいただいています。研究、開発用の各種高周波電源、応用装置・設備をご希望の仕様で設計・製作いたしますので、お気軽にご相談ください。

インバータータイプ高周波電源
周波数:1〜500kHz  出力:0.5〜100kW
固定周波数型/広帯域周波数型

<周波数掃引電源>

出力波形:三角波
周波数:10〜300kHz/60Ap-p

写真:周波数掃引電源

<熱プラズマ発生用電源>

400kHz/50kW

写真:熱プラズマ発生用電源

半導体素材製造用高周波電源(真空管式)

周波数:4MHz  出力:20kW

写真:半導体素材製造用高周波電源(真空管式)

過熱水蒸気実験装置

IH型加熱装置、蒸気温度700℃max

写真:過熱水蒸気実験装置

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TEL.03-3216-9470
FAX.03-3216-1669

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